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1、压电纳米定位台还分为标准版、低温真空、无磁版本,以适应不同环境需求。低温真空无磁型特别适用于半导体加工、检测等领域。压电纳米定位台可选择配置传感器,形成闭环控制,分为开环与闭环版本。闭环版本具有更高的定位精度与实时反馈,驱动控制电压与位移成线性关系。
2、像NM-XY-100A就可以实现三维位置控制啊 主要用来测量轴偏差极端微小角度偏差,用在扫描探针显微镜末端和其他不能容忍微小偏差的应用。
3、**压电纳米定位台系列**:提供多种运动轴,如XYZ轴,具有高精度和可靠性。 **直线压电马达平台**:利用压电陶瓷连续步进,实现毫米级行程和亚纳米分辨率。 **旋转压电马达平台**:旋转马达,提供闭环反馈,确保旋转精度。 **快速刀具定位台**:高精度、高速的刀具驱动,适用于精密加工。
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